Ultra - Augsta tīrība (lielāka vai vienāda ar 99,9%) alumīnija oksīda nogulsnēšanās gredzeni: stūrakmens galīgās plēves vienveidības un minimāla daļiņu piesārņojuma sasniegšanai.

Sep 08, 2025Atstāj ziņu

Papildu pusvadītāju un optisko pārklājuma procesos plānas plēves kvalitāte tieši nosaka galaprodukta veiktspēju un ražu. Tas, lai to sasniegtu, bieži vien ir pamata patērējamais, kuru viegli aizmirst: nogulsnēšanas gredzens.

Kāpēc ultra - ir augsta - tīrība (lielāka vai vienāda ar 99,9%) alumīnija oksīdu (al₂o₃) ir ideāls materiāls nogulsnēšanas gredzeniem? Atbilde slēpjas tās nepārspējamā stabilitātē.

Galīgā filmas vienveidība: Mūsu ultra - augsti - tīrības alumīnija oksīda nogulsnēšanās gredzeni uzrāda ārkārtīgi zemu termiskās izplešanās koeficientu un izcilu augstu - temperatūras stabilitāti. Pieprasītos CVD vai ALD procesos tie pretojas deformācijai, ko izraisa termiskais spriegums, nodrošinot ļoti stabilu gāzes plūsmas un temperatūras laukus reakcijas kamerā. Tas ļauj nogulsnēt nevainojamas plēves ar konsekventu biezumu un kompozīciju katrā katrā vafelē.

 

Ultra-high purity (≥99.9%) aluminium oxide deposition ring

 

Revolucionārs zems daļiņu piesārņojums: Mūsu nogulsnēšanās gredzenos izmanto augstu - tīrības smalkās keramikas saķepināšanas procesu, iegūstot blīvu, gludu virsmu, kas būtiski novērš piemaisījumu izskalošanos un virsmas pārslai. Tas ievērojami samazina vafeļu defektu blīvumu, uzlabojot jūsu produkta ražu un uzticamību.

Ieguldījumi ultra - augstā - tīrības alumīnija oksīda nogulsnēšanās gredzens nekādā ziņā nav vienkāršs patērējams nomaiņa, bet drīzāk pārrāvuma jauninājums jūsu procesa sašaurinājumiem. Tas kalpo ne tikai kā palātas aizbildni, bet arī kā jūsu uzticamo partneri, lai sasniegtu augstākas ražas, zemākas izmaksas un griežas - Edge produktus.

Ja jums ir nepieciešami pielāgoti alumīnija oksīda keramikas gredzeni, lūdzu, nevilcinieties sazināties ar mums.