Produktu apraksts
Pusvadītāju keramikas sprauslas kalpo kā kritiskas precizitātes sastāvdaļas pusvadītāju plāksnīšu ražošanas iekārtās (ja kodinātāji, ķīmiskās tvaiku pārklāšanas sistēmas un jonu implantatori). To galvenā funkcija ir precīzi vadīt, izplatīt un kontrolēt procesa gāzes (vai reaktīvās gāzes) un plazmu, virzot tās mijiedarboties ar silīcija plāksnīšu virsmām īpašos plūsmas modeļos un enerģijas stāvokļos. Tas nodrošina procesus, tostarp plānas -plēves uzklāšanu, raksta kodināšanu un virsmas modifikāciju.
Produkta veiktspēja
- Izcila nodilumizturība un pagarināts kalpošanas laiks: keramikas materiāliem ir ārkārtīgi augsta cietība (piem., 995 alumīnija oksīda keramika pārsniedz Hv1500, ar tikpat izcilu cirkonija oksīda keramiku), kas efektīvi iztur -ilgtermiņa noberšanos no cietām daļiņām tādās putās kā fotorezists un pulēšanas šķīdumi.
- Izcila ķīmiskā izturība pret koroziju: Tiem piemīt izcila tolerance pret šķīdinātājiem fotorezistos, stipros skābju/sārmu tīrīšanas šķīdumos, reaktīvās gāzēs un citos kodīgos aģentos, neuzrāda rūsēšanu vai ķīmisku noārdīšanos pat pēc ilgstošas lietošanas.
- Izcila termiskā un izmēru stabilitāte: ar ārkārtīgi zemu termiskās izplešanās koeficientu keramika saglabā konsekventu mikronu- vai pat nanometru-līmeņa poru formu un izmērus procesa temperatūras svārstību apstākļos.
- Augsta virsmas apdare un zems piesārņojums: keramikas saķepinātie korpusi var iegūt spoguļa{0}}līdzīgu apdari, izmantojot precīzu keramikas apstrādi. To virsmas ir izturīgas pret daļiņu saķeri, nav-magnētiskas un ir viegli tīrāmas.
- Lieliskas izolācijas un funkcionālās īpašības: Keramika ir izcili izolatori. Alumīnija oksīds nodrošina izcilu izolācijas veiktspēju, ko parasti izmanto alumīnija oksīda izolatoros un ZrO₂ izolējošās keramikas plāksnēs. Alumīnija nitrīda keramikai ir arī augsta siltumvadītspēja, kas ir piemērota lietojumiem ar īpašām temperatūras kontroles prasībām.
Produktu pielietojums
- Plazmas kodinātājs: darbojas kā gāzes izsmidzināšanas galviņa vai sānu sienas sprausla, lai vienmērīgi sadalītu kodināšanas gāzi.
- Ķīmiskās tvaiku pārklāšanas iekārtas: PECVD un ALD procesos vienmērīgi ievada prekursoru gāzi reakcijas kamerā.
- Jonu implantators: izmanto, lai vadītu un veidotu jonu staru.
- Difūzijas krāsns: kalpo kā gāzes iesmidzināšanas sprausla.
Kvalitātes kontrole
Mēs stingri ievērojam ISO 9001 kvalitātes vadības sistēmu, lai nodrošinātu konsekvenci:
- 100% izejvielu pārbaude
- Uzlabotas karstās{0}}presēšanas ražošanas līnijas
- Iekšējā-pārbaude: blīvums, cietība, mikrostruktūras analīze
- Trešās -puses sertifikāti (SGS, CE, ROHS pieejami pēc pieprasījuma)
Sertifikāti un apbalvojumi
Mums ir uzlabotas tehniskās zināšanas aglomerācijas, formēšanas, slīpēšanas, CNC apstrādes, lāzera urbšanas, slīpēšanas un pulēšanas procesos, cita starpā. Mēs pielāgojam dažādus keramikas izstrādājumus atbilstoši klientu prasībām.
rūpnīcas spēks
Mēs izmantojam zinātniskas metodes un paņēmienus visā produktu vai projektu projektēšanas un ražošanas procesos, lai optimizētu un uzlabotu to struktūru, veiktspēju un ražošanas darbplūsmas, pamatojoties uz klientu prasībām. Šis process ir veltīts tehnoloģiju attīstībai, produktu kvalitātes uzlabošanai un ražošanas izmaksu samazināšanai.
Populāri tagi: pusvadītāju keramikas sprausla, pusvadītāju keramikas sprauslu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
