Atklājot to milzīgās spējas siltumvadītspējīgumā un elektriskajā izolācijā!
Globālajās pusvadītāju ražošanas sacensībās par nanometru - līmeņa precizitāti ir ārkārtīgi svarīga katra procesa darbības precizitāte un uzticamība. Starp tiem termiskās apstrādes stabilitāte tieši ietekmē vafeļu ražas ātrumu. Tieši šajā kritiskajā situācijā alumīnija nitrīda (ALN) keramikas sildītāji kļūst par pasaules vadošo pusvadītāju ražotāju vienprātīgu izvēli. Šī preference izriet no to milzīgās augstākās siltumvadītspējas un augstas izolācijas īpašību kombinācijas, tālu pārsniedzot tradicionālos apkures materiālus.
Galīgā vienveidība, kas iegūta no ultra - augstas siltumvadītspējas
Pusvadītāju procesiem ir nepieciešama ārkārtīgi stingra temperatūras vienveidība, bieži vien ir nepieciešama kontrole ± 1 grādu vai pat stingrākas pielaides laikā. Alumīnija nitrīda keramikai ir termiskā vadītspēja pat 170–200 w/(m · k), kas ir 5–8 reizes lielāka par alumīnija oksīda keramiku un salīdzināma ar metālisko alumīniju.
Šī ārkārtas siltumvadītspēja ļauj tūlītēju siltuma pārnesi no sildīšanas elementa visā sildītāja virsmā, ātri novēršot lokalizētus “karstos punktus” un “aukstos plankumus”. Līdz ar to tas sasniedz galīgo temperatūras vienveidību visās plašajās sildīšanas virsmās. Šī spēja ir neaizstājama, lai nodrošinātu absolūto termisko stabilitāti augstā - precizitātes procesos, piemēram, uzlabotajā fotorezistu apstrādē, vafeļu savienošanā un plānā {- plēves nogulsnēšanā.
Drošs un uzticams, paļaujoties uz izcilām izolācijas īpašībām
In semiconductor equipment, heaters often need to be integrated within vacuum chambers and come into direct contact with wafers or carriers. This necessitates heating materials that maintain exceptional electrical insulation at elevated temperatures to safeguard equipment and process integrity. Aluminium nitride ceramics exhibit an extremely high volume resistivity (>10^14 Ω · cm), saglabājot izcilās izolācijas īpašības pat 500 grādu līmenī. Tas efektīvi mazina noplūdes un sabrukšanas riskus, nodrošinot absolūtu darbības uzticamību sarežģītā elektriskajā vidē.
Veiktspēja lieliski atbilst pusvadītāju stingrajām prasībām
Alumīnija nitrīda (ALN) sildītāju priekšrocības pārsniedz to:
- Zema termiskā izplešanās: tā termiskās izplešanās koeficients (CTE) cieši atbilst silīcija vafeļu, nodrošinot augstāku termisko ciklu saderību, samazinot stresu un pagarinot kalpošanas laiku.
- Korozijas izturība un augsta tīrība: ALN keramika raksturo stabilas ķīmiskās īpašības bez izskalošanās, novēršot procesa kameru piesārņojumu un izpildot pusvadītāju ražošanas ultra - Augstas tīrības prasības.
- Elastīgs konstrukcijas dizains: var izgatavot dažādās sarežģītās formās un struktūrās atbilstoši īpašām procesa prasībām un integrēt ar temperatūras sensoru elementiem, lai panāktu precīzu aizvērtu - cilpas vadību.
Tieši šī zeltainā augstās siltumvadītspējas un augstas izolācijas kombinācija padara alumīnija nitrīda keramikas sildītājus par visdrošāko un ideālo izvēli termiskās pārvaldības komponentiem, jo pusvadītāju milži virzās uz sarežģītākām procesu tehnoloģijām. Tie pārstāv ne tikai veiktspējas jaunināšanu, bet arī stratēģisku komponentu, kas aizsargā ražas likmes un paplašina procesa logus.