Pusvadītāju molārais keramikas gredzens

Pusvadītāju molārais keramikas gredzens parasti attiecas uz būtisku keramikas komponentu, ko izmanto pusvadītāju ražošanā un lieljaudas{0}}elektroniskajās iekārtās. Termins “Molar” tā nosaukumā, visticamāk, ir cēlies no zīmola vai konkrētas sērijas, kas parasti attiecas uz gredzenveida konstrukciju daļām, kas izgatavotas no augstas veiktspējas keramikas materiāliem (piemēram, alumīnija oksīda, alumīnija nitrīda, silīcija nitrīda utt.). Izmantojot savu lielisko fizikālo un ķīmisko stabilitāti, šie keramikas gredzeni veic tādas pamatfunkcijas kā izolācija, blīvēšana, slodzes-nešana un siltuma pārnese skarbā rūpnieciskā vidē. Tās ir būtiskas sastāvdaļas, lai nodrošinātu pusvadītāju procesa kameru, kodināšanas iekārtu, nogulsnēšanas iekārtu un jaudas moduļu stabilu un uzticamu darbību.

• Lieliska elektriskā izolācija: piemīt ārkārtīgi liela pretestība un dielektriskā izturība, kas efektīvi izolē augstu spriegumu, novērš strāvas noplūdi un nodrošina aprīkojuma drošību.
• Izcila termiskā stabilitāte: raksturīga izcila augsta -temperatūras izturība (bieži vien spēj ilgstoši-darboties virs 1000 grādiem), zems termiskās izplešanās koeficients, izturība pret plaisāšanu ātras termiskās cikla laikā un laba termiskā triecienizturība.
• Augsta mehāniskā izturība: augsta cietība, laba nodilumizturība, laba lieces un spiedes izturība, kas spēj izturēt noteiktu mehānisko spriegumu un montāžas spiedienu.
• Lieliska ķīmiskā inerce: nodrošina izcilu izturību pret lielāko daļu korozīvo gāzu, plazmas un spēcīgas skābju/sārmu vides, samazinot ķīmiskās reakcijas vai procesa vides piesārņojumu.
• Laba vakuuma blīvējuma veiktspēja: saglabā stabilu blīvēšanas veiktspēju augstas-temperatūras un augsta-vakuuma apstākļos, kas atbilst īpaši-augstajām vakuuma prasībām pusvadītāju procesos.
• Ideālas siltuma pārvaldības īpašības: dažiem augstas siltumvadītspējas veidiem (piemēram, alumīnija nitrīda keramikas gredzeniem) ir augsta siltumvadītspēja, kas efektīvi vada un izkliedē iekārtas darbības laikā radīto siltumu.

Material: Common materials include high-purity alumina (Al₂O₃, content >96%), alumīnija nitrīds (AlN), silīcija nitrīds (Si₃N4) utt.

Izmēru diapazons: iekšējais diametrs var svārstīties no vairākiem milimetriem līdz vairākiem simtiem milimetru; ārējais diametrs un augstums ir pielāgoti, pamatojoties uz īpašiem dizainiem.

Darba temperatūra: var izturēt maksimālo temperatūru no 1200 grādiem līdz 1800 grādiem (atkarībā no materiāla).

Siltumvadītspēja: Alumīnija oksīds ir aptuveni 20-30 W/(m·K); alumīnija nitrīds var sasniegt 150-200 W/(m·K).

Tilpuma pretestība: parasti lielāka par 10¹² Ω·cm istabas temperatūrā.

Dielektriskā izturība: parasti 10-20 kV/mm.

Fleksiālā izturība: alumīnija oksīda keramika aptuveni 300-400 MPa; silīcija nitrīda keramika var sasniegt 600-800 MPa.

• Pusvadītāju ražošanas iekārtas: plaši izmanto tādu iekārtu procesa kamerās kā plazmas kodināšana (Etch), ķīmiskā tvaiku pārklāšana (CVD) un fizikālā tvaiku pārklāšana (PVD). Kalpo kā izolācijas gredzeni, fokusa gredzeni, kameras starplikas vai aizsarggredzeni, lai ierobežotu plazmu, aizsargātu kameras sienas, homogenizētu procesa vidi un novērstu daļiņu piesārņojumu.
• Jaudas elektroniskie moduļi: tiek izmantoti tādu ierīču kā IGBT, lieljaudas gaismas diodes un lāzeri kā izolēti siltuma izkliedes substrāti vai atbalsta gredzeni elektriskās izolācijas un efektīvas siltuma izkliedes nodrošināšanai.
• Vakuuma sistēmas: izmanto izolētiem savienojumiem, caurplūdes blīvēm un atbalsta konstrukcijām augsta -vakuuma vai īpaši-augsta{2}}vakuuma sistēmās.
• Augstas{0}}temperatūras apstrādes iekārtas: kalpo kā iestatītāji, krāsns oderējums vai atbalsta elementi saķepināšanas krāsnīs un termiskās apstrādes krāsnīs.
• Jauni enerģijas un jaudas lauki: izmanto plānas -plēves fotoelementu ražošanas iekārtās, kurināmā elementu skursteņos un kā izolācijas sastāvdaļas augstsprieguma{1}}elektriskajās iekārtās.
• Medicīnas un pētniecības aprīkojums: darbojas kā galvenās sastāvdaļas analītiskos instrumentos, paātrinātājos un citās precīzās iekārtās, kurām nepieciešams augsts vakuums, augsta izolācija vai izturība pret koroziju.

Mēs stingri ievērojam ISO 9001 kvalitātes vadības sistēmu, lai nodrošinātu konsekvenci:

• 100% izejvielu pārbaude
• Uzlabotas karstās{0}}presēšanas ražošanas līnijas
• Iekšējā-pārbaude: blīvums, cietība, mikrostruktūras analīze
• Trešās -puses sertifikāti (SGS, CE, ROHS pieejami pēc pieprasījuma)

Populāri tagi: pusvadītāju molārais keramikas gredzens, pusvadītāju molārais keramikas gredzens ražotāji, piegādātāji, rūpnīca